上海广奕电子科技股份有限公司

高新技术企业新三板正常上市解决方案广奕电子半导体设备服务芯片 836545 销售

公司介绍

1、公司成立于2007年。 2、注册资本4000万元。 3、总部位于上海张江高科技园区。 4、立足于芯片生产线设备总体解决方案，致力于芯片生产线解决方案。 5、新三板挂牌企业：股票名称：广奕电子，股票代码：836545。 6、上海市高新技术企业。 7、上海市“专/精/特/新”企业。

基本信息

企业名称上海广奕电子科技股份有限公司

法定代表人王作义

注册资本4000万人民币

企业规模30

所属行业软件和信息技术服务业

统一社会信用代码91310000660723546N

经营范围半导体设备及零部件的研发、销售并提供相关的技术咨询、技术服务、技术转让，自有设备租赁，货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】

联系方式

企业电话 021*****1170
021*****1160
021*****9616
021*****9619

企业邮箱

企业网址http://www.vastity.com.cn

企业地址中国

软件著作

软件名称	登记号	登记批准日期	首次发表日期
广奕晶圆制造生产线光刻机单机在线调度软件	2021SR0081940	2021-01-15
全自动反应离子刻蚀机控制系统	2021SR0082087	2021-01-15
广奕硅芯刻蚀清洗工艺程序软件	2021SR0081939	2021-01-15
广奕全自动刻蚀淀积一体机自动控制系统	2021SR0082114	2021-01-15
广奕离子注入机射频同步加速控制软件	2020SR0816009	2020-07-23
广奕硅片腐蚀清洗机程序软件	2020SR0815967	2020-07-23
广奕硅片传输系统板库控制软件	2020SR0815974	2020-07-23
广奕扩散炉工艺自动化计算机管理系统	2020SR0815995	2020-07-23
广奕光刻机精密工作台误差分析系统	2020SR0807685	2020-07-22
广奕注入机工艺试验平台控制软件	2020SR0810865	2020-07-22
广奕注入机底座支撑控制软件	2018SR528830	2018-07-09	2017-08-09
广奕注入机触屏液晶化显示器操作软件	2018SR528722	2018-07-09	2016-11-23
广奕离子注入机8寸改6寸系统控制软件	2018SR528382	2018-07-09	2017-09-11
广奕4、5、6寸精元传输手臂兼容性控制软件	2018SR529501	2018-07-09	2016-11-15
广奕立式扩散炉扩散工艺颗粒度优化软件	2018SR528450	2018-07-09	2017-11-13
广奕半导体扩散炉冷却控制软件	2018SR530442	2018-07-09	2017-06-07
广奕nikon光刻机门板灰尘清理控制软件	2018SR532732	2018-07-09	2017-04-11
广奕TEL MARK 涂胶空调温湿度控制软件	2018SR530449	2018-07-09	2017-08-15
广奕Tel匀胶设备腔体缺陷修复软件	2018SR530446	2018-07-09	2016-11-08
广奕电机控制系统软件	2017SR539535	2017-09-22	2017-06-23
广奕基于单片机直流电机控制系统软件	2017SR539550	2017-09-22
广奕净化间网络数字广播系统软件	2017SR539560	2017-09-22	2017-07-10
广奕对步进电机转速控制系统软件	2017SR539541	2017-09-22	2017-07-10
广奕扩散炉舟位置控制系统PID算法的控制软件	2015SR159251	2015-08-18	2015-02-09
广奕全自动石英管切割控制软件	2015SR159250	2015-08-18	2015-02-01
光刻机硅片传输机械手步进电机控制软件	2012SR073944	2012-08-13	2011-07-10
光刻机传片系统改造控制软件	2014SR104750	2014-07-24	2013-10-01
离子注入机DI冷却循环水控制软件	2012SR064297	2012-07-17	2011-08-15
电机转速计数器软件	2012SR073946	2012-08-13	2009-10-13
腐蚀机腐蚀液液面超声波测量计算软件	2014SR044239	2014-04-16	2013-11-15
直流电机转速的控制软件	2014SR044245	2014-04-16	2013-09-10
扩散炉水浴温度控制系统PID算法控制软件	2014SR044448	2014-04-16	2013-11-15
Precision5000腔体内漏测量软件	2012SR073949	2012-08-13	2009-12-23
MPA-600FA光刻机传片系统改造控制软件	2012SR073947	2012-08-13	2011-10-10
NV-10SD-80 DISK ROTARY控制软件	2012SR064290	2012-07-17	2011-10-08
PC机与简易测试仪TC-TEST连接的二极管测试程序软件	2012SR064569	2012-07-17	2010-09-12
测试仪测试点控制软件	2012SR064293	2012-07-17	2011-07-03
NV10-80离子注入机大盘旋转速度测量软件	2012SR052385	2012-06-18	2009-12-15

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